Основи мікро- та нанотехнологій
Викладач: _____к.т.н., доцент_Дубінець Владислав Іванович____
1. Опис кредитного модуля
Галузь знань, напрям підготовки, освітньо-кваліфікаційний рівень
|
Загальні показники
|
Характеристика
кредитного модуля
|
Галузь знань
_15 Автоматизація та приладобудування _
|
Назва навчальної дисципліни, до якої належить кредитний модуль Основи мікро- та нанотехнологій
|
Форма навчання _денна_
|
Спеціальність (код і назва) __151 Автоматизація та комп’ютерно-інтегровані технології_
|
Кількість кредитів ECTS – _4,5_
|
Статус навчальної дисципліни
(ІІ.ЦИКЛ ПРОФЕСІЙНОЇ ПІДГОТОВКИ ІІ.1. Навчальні дисципліни професійної та практичної підготовки)
|
Спеціалізація (назва ) __Комп’ютерно-інтегровані технології та системи точної механіки_
|
Змістових модулів – 3
|
Індивідуальне завдання Контрольна роботаРеферат
|
Семестр __2_ -й
|
Освітньо-кваліфікаційний рівень:
___магістр за освітньо-науковою програмою магістерської підготовки__
|
Загальна кількість ____54_год.
|
Лекції __36_ год.
|
Практичні (семінарські) _18_ год.
|
Лабораторні (комп’ютерний практикум) __ год.
|
Тижневих годин: аудиторних – _3_
самостійної роботи студента – _4,5__
|
Самостійна робота81__год.
|
У тому числі на виконання індивідуального завдання _10__год.
|
Вид та форма семестрового контролю: Залік
|
Рекомендована література
Базова
- Алферов Ж И., Асеев А. Л., Гапонов С. В., Коптев П. С, Панов В И.Полторацкий Э. А., Сибельдин Н. Н., Сурис Р А. Наноматериалы и нанотехнологии // Микросистемная техника. - 2003. -№ 8. - С.3-13.
- Алферов Ж.И. // Физика и техника полупроводников. 1998. - Т.32, №3.-С.З-18.
- Мартинес Дуарт Дж., М Мартин - Папма Р.Дж. Нанотехнологии для микро - и оптоэлектроники. -М: Техносфера, 2007. 368 с.
- Головин Ю И. Введение в нанотехнику. -М.: Машиностроение, 2007, 496с.
- Mark E. Law. Integrated Smart Nanosensors for Space Biotechnology Applications Toshikazu Nishida. University of Florida, NASA Research Briefing, September 25, 2002.
- Інтернет-ресурси: www.nano.com.ua, www.microsystems.ru
- Періодичні журнали за 2012-2017 рр:
Нано и микросистемная техника ( Датчики и системы); Изв.вузов Приборостроение; Наноиндустрия та інш.
Допоміжна
- Щербаков Н.А., Еременко А.Н., Горнеев Е.С. и др. Исследование и разработка технологии изготовления изделий микросистемной техники // Микросистемная техника. -2002. -№ 12. -С. 6-7.
- Тимошенков С.П., Калугин ВВ., Зотов С.А., Рубчиц В. Г. Разработка процессов получения сложно-профильных чувствительних элементов МЭМС с учетом влияния технологических погрешностей. http:// www. mai.ru
|